CIF格式中圆形切割成3600格式中矩形的算法研究

摘要：

本文介绍了几种CIF格式中圆形切割成PG3600格式所需矩形的算法,并对几种算法从数据大小、重复曝光和算法难易方面进行了比较分析,最后为编写格式转换软件找出了最优的算法.

关键词： CIF格式 图形切割 PG3600格式 矩形算法

作者: 李金儒 汤跃科 陈宝钦

作者单位: 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 81-84

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）