基于SEM的纳米级电子束曝光机系统设计

摘要：

本文主要介绍基于扫描电子显微镜(SEM)纳米级实用化电子束曝光机系统的研究内容、主要技术指标及曝光工艺实验的结果.

关键词： 电子束曝光机 系统设计 曝光工艺实验 扫描电子显微镜

作者: 顾文琪 薛虹 韩立 刘俊标 初明璋

作者单位: 中国科学院电工研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 62-68

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）