飞秒激光在微加工中的应用

摘要：

采用波长800nm,脉冲宽度150fs,脉冲重复率1kHz的飞秒激光,研究了在不同物质以及不同加工条件下的微加工特性,在镀金薄膜和镀银薄膜上获得了近衍射极限的刻线加工尺度,在半导体GaAs材料上制备了直径3μm的4×4点阵.在加工速度为400μm/s的条件下,在ZK6玻璃和LaF2玻璃上制备了透射式衍射光栅,光栅常数分别为2.5μm和5μm.

关键词： 超快光学 飞秒激光 微加工 镀金薄膜 衍射光栅

作者: 高飞 袁孝 程光华 赵卫

作者单位: 华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,陕西,西安,710068

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国激光学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 415-418

在线出版日期: 2005-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）