千赫兹飞秒激光制备类金刚石薄膜
在不同基底温度条件下,开展了千赫兹飞秒激光脉冲沉积类金刚石(DLC)薄膜的制备,通过改善激光参量和制备工艺,制备并研究了类金刚石薄膜的光学、力学和理化性能.实验采用单脉冲能量0.5～1.5mJ,重复频率1kHz,脉宽50fs,波长800nm的激光烧蚀纯度为99.999﹪的石墨靶材,在石英,K9玻璃等多种材料上沉积了类金刚石薄膜,薄膜的平均生长速率约为85nm/min.拉曼光谱测试得到了类金刚石薄膜双峰结构的拉曼光谱,其中D峰在1346cm-1处,G峰在1574cm-1处.在石英基底上制备的薄膜在1075～2700nm的光谱范围内透射率可达87﹪以上,在2000nm处达最大值90﹪,并且薄膜具有明显的红外增透性能.制备的薄膜经过酸碱浸泡和脱脂棉擦拭,无擦痕损伤.
类金刚石薄膜 脉冲激光沉积 飞秒激光 拉曼光谱 红外透过率
张熹 袁孝 吴婧 郭延龙 王小兵 程勇
华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074 武汉市军械士官学校光电研究所,湖北,武汉,430075
国内会议
四川绵阳
中文
336-338
2005-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）