铸造多晶硅中的原生杂质

摘要：

本文主要采用傅立叶红外仪、微波光电导少数载流子寿命仪研究了铸造多晶硅中的原生杂质的性质和其及分布规律.研究发现,铸造多晶硅中氧的浓度从底部到顶部逐渐降低.铸造多晶硅中碳的浓度分布总的趋势是从底部到顶部会逐渐升高.而铸造多晶硅中铁的浓度分布则是底部和顶部浓度高,中间很低,这表明晶体底部高浓度的铁主要是由于铁的分凝所致,而底部的铁则主要来自于晶体凝固过程中坩埚的玷污.

关键词： 铸造多晶硅 原生杂质 傅立叶红外仪 浓度分布

作者: 唐骏 席珍强 邓海 杨德仁

作者单位: 宁波晶元太阳能有限公司,浙江宁波,315800 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027;浙江理工大学材料研究中心,浙江杭州,310018 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 113-116

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）