以废旧硅芯片回收高纯硅的工艺研究

摘要：

当前高纯硅材料已经成为制约太阳能光伏产业发展的瓶颈,针对太阳能级硅材料紧缺的总体形势,本文对来源于半导体器件行业的废旧硅片进行回收处理,主要是对不同样品进行分类并对硅片表面掺杂层采用喷砂和化学腐蚀处理,并对样品进行了扫描电镜(SEM)和电学性能方面的测试和分析.结果表明使用该方法回收处理废旧硅片切实可行,并能有效地节约利用高纯硅材料,对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用.

关键词： 废旧硅片 回收处理 喷砂 化学腐蚀 太阳能光伏

作者: 徐华毕 梁宗存 沈辉 李仲吉

作者单位: 中国科学院广州能源研究所,广州,510640;中山大学太阳能系统研究所,广州,510006 中山大学太阳能系统研究所,广州,510006 深圳先行电子有限公司,深圳,518108

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 94-97

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）