PECVD法制备SnO2多晶薄膜退火处理后性质分析

摘要：

本文采用等离子增强气相沉积法(PECVD)与退火热处理相结合制备得到了SnO2多晶薄膜.利用X射线衍射、紫外可见透射光谱等方法研究了SnO2薄膜的微观结构以及光学和电学的性质.结果表明:热处理后的SnO2薄膜,从非晶转化为四方相多晶结构,透过率变化不大,载流子浓度增大.

关键词： SnO2多晶薄膜 化学气相沉积法 退火热处理 多晶薄膜

作者: 罗琼 冯良桓 雷智 蔡伟 张静全 李卫 蔡亚平 武莉莉 黎兵 郑家贵

作者单位: 四川大学材料科与工程学院,四川成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 681-683

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）