溅射功率对ZnO:Al透明导电薄膜性能的影响

摘要：

本文利用中频磁控溅射方法制备ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜,研究了溅射功率对ZAO薄膜电学、光学以及绒面表面形貌的影响,获得了适合太阳电池的高性能薄膜,其电阻率为4.6×10-4Ωcm,可见光范围内的平均透过率大于85﹪,低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜具有较好的表面形貌.

关键词： 中频磁控溅射 溅射功率 透明导电薄膜 薄膜性能 薄膜太阳电池

作者: 黄宇 薛俊明 马铁华 熊强 孙建 赵颖 耿新华

作者单位: 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子工程系,山西省太原市,030051;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,&,天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,南开大学天津,30007 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,&,天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,南开大学天津,300071 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子工程系,山西省太原市,030051 北省信息产业厅唐山无线电管理分局,河北省唐山市,063000 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,&,天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,南开大学,天津,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 667-670

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）