玻璃和硅衬底制备p型ZnO薄膜特性的研究

摘要：

本文主要采用超声喷雾技术制备了p型ZnO薄膜,关注了薄膜特性与衬底之间的关系.Hall测试结果显示不同衬底上ZnO薄膜的电学特性有较大差别:相对于普通玻璃衬底,Si衬底上制备薄膜的迁移率和电导率有较大的改善.另外,同n-Si衬底衬底相比,p-Si衬底上ZnO薄膜的导电类型较稳定,文中结合XRD、SEM等分析手段对其原因进行了分析.

关键词： p型ZnO薄膜 超声喷雾热分解 电学特性 薄膜特性

作者: 范红兵 张晓丹 赵颖 孙建 魏长春 张存善

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术关津市重点实验室,天津,300071;光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学)天津,300071;河北 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术关津市重点实验室,天津,300071;光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学)天津,300071 河北工业大学信息学院,天津,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 659-662

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）