背面钝化氮化硅膜的热稳定性研究

摘要：

本文主要针对氮化硅膜的背面钝化,研究在单晶硅及多晶硅衬底上氮化硅膜的热稳定性及不同温度下氮化硅膜退火特性.通过测试少子寿命及电阻率,发现单晶硅衬底上氮化硅膜的退火对衬底氧施主效应影响很大,多晶硅衬底上氮化硅膜在合适的退火条件下热稳定性非常好.

关键词： 背面钝化 氮化硅膜 退火 少子寿命 电阻率

作者: 章曙东 张光春 施正荣 朱拓

作者单位: 江南大学信控学院,江苏无锡,214122 无锡尚德太阳能电力有限公司,江苏无锡,214000 江南大学理学院,江苏无锡,214122;无锡尚德太阳能电力有限公司,江苏无锡,214000 江南大学理学院,江苏无锡,214122

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 746-749

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）