影响硅片在酸液中腐蚀速度的因素

摘要：

氢氟酸(HF)/硝酸(HNO3)/水(H2O)体系对硅片的腐蚀非常复杂,腐蚀机理与酸液的配比有关.影响酸液腐蚀硅片的因素有酸液比例、溶液温度、稀释剂与助剂的添加、硅片表面状况、是否加搅拌等.通过改变反应液比例,控制反应液温度,添加合适稀释剂,加一定搅拌等方法可有效控制反应速度.

关键词： 硅腐蚀 腐蚀速度 酸液腐蚀

作者: 刘志刚 孙铁囤 安静 汪建强 苦史伟 徐秀琴 崔容强

作者单位: 上海交通大学物理系太阳能研究所,上海,200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 642-645

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）