少数载流子寿命仪在太阳电池制备中的应用

摘要：

少数载流子寿命仪是表征半导体材料质量的一个重要参数.本文主要研究了不同部位的铸造多晶硅硅片在磷吸杂前后以及氮化硅沉积前后少数载流子寿命的变化,揭示少数载流子寿命仪在原生材料判别、磷扩散吸杂以及表面和体钝化等这些电池制备工艺控制的重要性.

关键词： 少数载流子寿命仪 半导体材料 多晶硅硅片 磷吸杂 太阳电池

作者: 席珍强 黄笑容 杨德仁

作者单位: 浙江理工大学材料研究中心,杭州,310018;浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 杭州海纳半导体有限公司,杭州,310027 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 606-609

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）