ZnTe:Cu多晶薄膜的结构研究

摘要：

用共蒸发法制备了ZnTe:Cu多晶薄膜,采用XRD(X射线衍射)、AFM(原子力显微镜)及XPS(X射线光电子能谱)等表征手段分析了薄膜结构、形貌、组分及Cu在ZnTe中的存在状态,并比较了它们在退火前后的变化.结果表明,刚沉积的薄膜为高度(111)择优的立方相结构;退火后膜变得均匀、致密,并出现六方相.XPS分析发现膜面呈现富Te现象,且富余的Te主要以氧化物和CuxTe相的形式存在.

关键词： 多晶薄膜 退火 共蒸发 X射线衍射 原子力显微镜 X射线光电子能谱

作者: 吴晓丽 郑家贵 冯良桓 蔡伟 蔡亚平

作者单位: 四川大学材料科学与工程学院,四川成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 387-390

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）