丝网印刷磷浆的特性及其快速热扩散行为研究

摘要：

本文介绍了自行研制的丝网印刷磷浆的主要理化特性,并在自制的快速扩散炉上对其扩散行为进行了研究,比较了不同磷浆浓度,不同快速扩散温度及不同扩散时间对扩散结果的影响.研究发现,扩散后的主要参数如方块电阻、结深及表面浓度可控,扩散杂质浓度分布陡峭.高质量的丝网印刷磷浆的制备及其优异的快速扩散特性,可用于低成本制备选择性发射极太阳电池.

关键词： 丝网印刷 磷浆 选择性发射极 快速热扩散 太阳电池

作者: 姚朝晖 刘祖明 廖华 夏朝凤 李景天 陈庭金

作者单位: 中国农业大学水利与土木工程学院,北京,1000831;云南师范大学太阳能研究所,昆明,650092 云南师范大学太阳能研究所,昆明,650092

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 62-66

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）