CdCl2气相退火后处理对CdTe多晶薄膜性能的影响

摘要：

利用近空间升华法在Ar+O2气氛下沉积了CdTe多晶薄膜,并在气相CdCl2氛围下进行了不同温度的后处理,对样品进行了厚度、XRD、SEM、σ-T等性能测试,结果表明:退火后CdTe多晶薄膜在(111)面上仍具有择优取向,退火能使晶界钝化,增加再结晶并促进晶粒长大;退火后,暗电导(σdark)增加,电导激活能(Ea)减少.

关键词： CdTe 多晶薄膜 退火 薄膜太阳电池 近空间升华 暗电导

作者: 曾广根 郑家贵 李愿杰 唐茜 夏庚培 黎兵 张静全 蔡亚平 蔡伟 冯良桓

作者单位: 四川大学太阳能材料与器件研究所,四川成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 359-362

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）