大面积非晶硅叠层电池氢稀释顶电池研究

摘要：

本文利用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,对非晶硅叠层太阳电池顶电池的本征层(i层)的氢稀释度进行了优化研究.通过调节反应气体硅烷浓度(SC),在非晶/微晶过渡区附近(硅烷浓度6﹪,温度170℃的条件下)得到短波响应增强、扩展了光谱的叠层电池顶电池.通过优化氢稀释顶电池工艺,得到初始效率达到9.2﹪的400cm2非晶硅叠层太阳电池.

关键词： 氢稀释 叠层太阳电池 顶电池 化学气相沉积

作者: 任慧志 孙建 薛俊明 侯国付 张德坤 赵颖 耿新华

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 光电子薄膜器件与技术研究所天津市重点实验室 光电信息技术科学教育部重点实验室,南开大学,天津,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 183-186

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）