在多孔硅上外延硅膜的研究
固相晶化(SPC)技术制备太阳电池是值得研究的方向.我们用电化学电解的方法在硅片上制备了多孔硅,在多孔硅上用PECVD设备沉积了非晶硅薄膜,对非晶硅薄膜在550℃进行了固相晶化.用拉曼光谱仪、XRD和扫描电镜等手段对硅薄膜进行了测试研究.研究表明,在多孔硅上的固相晶化比石英衬底上的要快,结晶膜中和多孔硅相同的(100)晶向占优,表明多孔硅是很好的作固相晶化籽晶层的材料.多孔硅还是很好的实现层转移的材料,我们已经利用多孔硅实现了数cm2薄膜的完整剥离.
多孔硅 硅薄膜 拉曼光谱仪 固相晶化 太阳电池
郭敏 张宇翔 李红菊 王海燕 陈永生 杨仕娥 郜晓勇 李维强 卢景霄
郑州大学教育部材料物理重点实验室,河南郑州,450052
国内会议
成都
中文
146-148
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）