大面积CdTe多晶薄膜制备条件及性能研究

摘要：

在通过调节灯管分布获得均匀温场后,通过对沉积温度,沉积气庄的控制,得到三种不同沉积条件下的CdTe薄膜,通过XRD,SEM测试分析,发现在相同沉积温度下,随着气压的升高薄膜的晶粒更加均匀致密,获得到了适宜CdTe薄膜沉积的条件.

关键词： CdTe薄膜 薄膜太阳电池 近空间升华 均匀温场 沉积温度

作者: 白桂庭 李卫 武莉莉 蒋显辉 郑家贵 黎兵 冯良桓 张静全 蔡伟 蔡亚平 雷智

作者单位: 四川大学材料科学系,成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳能光伏会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 334-337

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）