纳米印刻技术及其应用

摘要：

纳米印刻技术在未了IC电路和纳米器件制作中有重要的应用前景.本文对纳米印刻技术及其应用研究进行了简要回顾,分析了纳米刻印技术的主要过程以及其中的关键问题,

关键词： 纳米 印刻技术 IC电路 纳米器件

作者: 刘泽文

作者单位: 清华大学微电子学研究所,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 34-38

在线出版日期: 2005-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）