用于玻璃刻蚀的新型光刻胶

摘要：

本文采用改性超支化聚酯制备了作为刻蚀掩膜的光刻胶,研究了该感光树脂的感光活性、最大凝胶率以及对玻璃的附着性,研究了HCl、HNO3对HF刻蚀玻璃的影响.

关键词： 改性超支化聚酯 光刻胶 玻璃刻蚀

作者: 柯旭 巫文强 王跃川

作者单位: 四川大学高分子科学与工程学院,成都,610065

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国高分子材料科学与工程研讨会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 421-422

在线出版日期: 2006-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）