低能电子点源显微镜的研制及初步实验结果

摘要：

本文研制了一台集低能电子点源显微镜和场发射显微镜于一体的设备.研制的过程中,解决了包括超高真空的获得,外界振动的隔离,爬行器及其控制电路的设计,场发射电流-电压自动测量,超高真空换样等一系列问题.利用该设备,获得了放大倍数大于104的投影像,并且测量了单根多壁碳纳米管的场发射特性.

关键词： 低能电子点源显微镜 场发射显微镜 场发射特性 碳纳米管

作者: 柏鑫 肖桂里 于洁 张兆祥 郭等柱 赵兴钰 薛增泉 张耿民

作者单位: 北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871 北京普莱思科技有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届科学仪器前沿技术及应用学术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 49-52

在线出版日期: 2006-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）