电子电镀中若干新工艺和新技术

摘要：

文对电子电镀中若干新工艺新技术如芯片电镀、化学机械抛光、MEMS电镀、PCB工业中采用不溶性阳极电镀铜工艺以及铜蚀刻液回收再生、无铅无镉化学镀镍、镀铂铌电极等进行了简要介绍.

关键词： 电子器件 电镀 化学抛光 化学镀镍 镀铂铌电极 镀铜

作者: 郁祖湛

作者单位: 复旦大学化学系,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年电子电镀学术报告会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 89-95

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）