掺杂Sb对SnO2透明导电膜导电性的影响分析

摘要：

采用溶胶凝胶法制备透明导电膜,并考察了Sb的掺杂量、热处理温度对薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响.在SnO2掺杂1.0﹪(wt)Sb能显著提高薄膜的电导性,制得的透明导电膜表面电阻率最低为ρ=16×10-3Ω·cm,且薄膜的连续性、致密性好,透光率达到90﹪以上.

关键词： 掺杂Sb SnO2薄膜 薄膜电阻 方块电阻 导电陶瓷 导电膜 导电性

作者: 于长凤 朱小平 张脉官 凌青 戴静

作者单位: 景德镇陶瓷学院,333001 广东佛山金刚新材料所,528000 苏州国巨电子,215000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国硅酸盐学会陶瓷分会2006学术年会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 363-369

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）