基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统研究

摘要：

本文提出了基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统的概念,具体以光学光刻工艺为切入点详细分析了虚拟光刻环境原形系统及关键技术.进一步通过微加速度计加工中对准偏差模拟的例子说明了该系统的可行性.

关键词： 技能知识 过程虚拟 虚拟制造 光刻工艺

作者: 孙广毅 赵新 卢桂章

作者单位: 南开大学机器人与信息自动化研究所,天津300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第25届中国控制会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1362-1367

在线出版日期: 2006-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）