应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计

摘要：

本文介绍了一种成功应用的磁控溅射镀膜生产线计算机监控系统的设计,重点讨论了计算机监控系统的硬件配置、软件设计、通信协议、控制过程实现以及软件编程中的控制算法。

关键词： 磁控溅射镀膜生产线 计算机监控系统 通信协议 控制算法 软件编程

作者: 聂廷森

作者单位: 肇庆市大力真空设备有限公司,广东,肇庆,526060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 80-85

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）