热镀锌板退火炉在线检漏技术

摘要：

用磁质谱检漏仪对热镀锌板退火炉在线检漏.根据热镀锌板退火炉对密封性的指标要求,针对不同区域确定不同的检漏方案,分别采用正压检氢和负压检氦的办法对炉体不同区域进行检漏。

关键词： 退火炉 在线检漏 磁质谱检漏仪 热镀锌板 密封性指标 正压检氢

作者: 张吉峰 王树鹏

作者单位: 北京真空电子技术总公司,北京,100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 75-79

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）