四工位碳化台设计制造

摘要：

对四工位碳化台设计制造方案做了介绍,特别是对影响碳化质量的三个重要因素:碳化的时间、碳化的气体压强和碳化的温度,本方案中分别采取了与以往碳化设备不同的控制方案,通过控制热丝电流来控制温度,用进口电容薄膜规测量气体压强,并采用工控机实现全工艺过程自动控制,达到了提高碳化质量和生产效率的目的。

关键词： 四工位碳化台 全过程自动控制 生产效率 碳化质量 碳化设备 工控机

作者: 张吉峰 王承章

作者单位: 北京真空电子技术总公司,北京,100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 70-74

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）