计算机在真空排气中的应用

摘要：

计算机以真空器件内的真空度为判据,对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程.计算机控制技术细化工艺控制量,优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量;程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。

关键词： 计算机控制 真空排气 程控排气 真空度 真空器件

作者: 米伦

作者单位: 中国工程物理研究院,电子工程研究所,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 66-69

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）