管壁内闭空间气源对器件真空性能的影响

摘要：

本文介绍了在电真空器件生产过程中遇到的一种闭空间气源问题,建立了闭空间气源在管壁内的漏孔对器件的影响模型,举例说明了器件在排气封离后,如果有闭空间存在的解决方法和依据。

关键词： 真空技术 漏孔 排气封离 电真空器件 闭空间气源

作者: 成永东 李明光

作者单位: 电子科技大学物理电子学院,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 38-41

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）