ZEISS扫描电镜特点及在失效分析中的应用

摘要：

本文介绍了ZEISS扫描电镜特点及在失效分析中的应用.ZEISS扫描电子显微镜的研究与生产具有悠久的历史,其先进的结构设计、卓越的技术性能为世人所瞩目.ZEISS扫描电镜的高分辨、低电压性能、低真空模式等特点,解决了失效分析和材料研究中纳米材料等新材料对分辨率要求高、不导电材料和含水材料成像性能差的技术难题,得到了广泛的应用.

关键词： 扫描电子显微镜 低真空模式 失效分析 成像特征

作者: 傅国如 张顺勇

作者单位: 北京航空工程技术研究中心,北京,100076 励精科技(上海)有限公司,上海,200031

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第五届航空航天装备失效分析研讨会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 526-528

在线出版日期: 2006-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）