射频感应耦合等离子体的数值模型

摘要：

低温等离子体在传统和高新产业中取得了愈来愈重要的地位,射频感应耦合等离子体作为一种重要类型的等离子体被人们广泛深入地研究和应用.本文采用流体模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布;分析了不同结构和放电气压对等离子体密度和电子温度空间分布的影响。

关键词： 低温等离子体放电 流体模型 等离子体密度 电子温度分布 射频感应耦合

作者: 胡庆 蒙林 鄢阳 高荣 袁家德

作者单位: 电子科技大学,物理电子学院,四川,成都,610054;成都大学电信系,四川,成都,610106 电子科技大学,物理电子学院,四川,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 293-296

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）