阴极刻蚀和覆膜的应用研究

摘要：

本文阐述了刻蚀和涂覆的重要作用,通过大量的条件实验确定合适的刻蚀和覆膜工艺及检验手段,进一步比较不同厚度、不同材料膜层的阴极发射性能的比较。

关键词： 阴极刻蚀 覆膜阴极 阴极发射性能 涂覆 工艺检验

作者: 马静 王玉春 谢宏芳 谢启辉 陆为元

作者单位: 三乐集团有限公司电子器件研究所,江苏,南京,210009

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 278-284

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）