会议专题

利用飞行时间质谱研究阴极蒸发

提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法.利用ToFMS测试了真空本底,氧化物阴极,浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分.研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时间的关系.比较了不同阴极蒸发速率的大小.研究了阴极各种成分离子峰强度与电离电压的关系。

覆膜阴极 阴极蒸发 飞行时间质谱 蒸发速率 离子峰强度 ToFMS测试

刘燕文 田宏 韩勇 赵青兰 徐振英 孟鸣凤 张哓伟 王晓艳 张洪来

中国科学院电子学研究所,100080

国内会议

第九届真空技术应用学术年会

四川绵阳

中文

261-266

2006-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)