覆膜阴极蒸发成分的分析

摘要：

本文利用飞行时间质谱对用于相位一致性覆膜阴极在不同温度,不同时间条件下的蒸发成分进行了测试,并对这些蒸发物的来源进行了分析.这些结果为研制蒸发速率小的覆膜阴极指明方向。

关键词： 覆膜阴极 飞行时间质谱 阴极蒸发测试 蒸发物

作者: 田宏 刘燕文 徐振英 孟鸣凤 张洪来 俞世吉 王自成

作者单位: 中国科学院电子学研究所,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届真空技术应用学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 253-256

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）