MEMS电控可调光衰减器

摘要：

本文介绍了电控可调MEMS光衰减器在光纤网络中的应用,并从结构、工作原理和加工方法等方面,介绍了F-P腔式MEMS电控可调光衰减器方案.测试结果表明,F-P腔式衰减器具有很好的实用性能.

关键词： 微电子机械系统 可调光衰减器 光纤网络

作者: 张晓东 王连卫 彭德艳 杨震

作者单位: 江苏永鼎股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国光纤器件发展研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 154-156

在线出版日期: 2006-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）