高纯磷烷的规模化生产

摘要：

本文对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别.吸附--低温精馏--超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术”瓶颈”.

关键词： 磷烷 合成 吸附 低温精馏 超纯净化 电子气体

作者: 孙福楠 岳成君

作者单位: 光明化工研究设计院,辽宁,大连,116031

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国电子化学品发展研讨会

会议地点: 江苏无锡

会议语种:中文

页码: 122-125

在线出版日期: 2006-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）