会议专题

中国电子气体的现状及发展走向

本文详细地介绍了中国电子气体的技术现状.从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍.同时,对电子气体的未来发展进行了展望.

电子气体 工艺制造 光电子 微电子

孙福楠 岳成君

光明化工研究设计院,辽宁,大连 481信箱,116031

国内会议

2006全国电子化学品发展研讨会

江苏无锡

中文

108-115

2006-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)