三氟化氮特种气体及其潜在优势的研究

摘要：

本文通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特别是用于需要高蚀刻率时.在通常条件下,可进行方便的管理.

关键词： 三氟化氮 蚀刻剂 理化性质 蚀刻率 特种气体

作者: 杨彦

作者单位: 中核红华特种气体股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国电子化学品发展研讨会

会议地点: 江苏无锡

会议语种:中文

页码: 116-121

在线出版日期: 2006-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）