超净高纯水制备工艺的研究

摘要：

本文讨论了运用亚沸蒸馏技术制备高纯水的提纯工艺.该工艺以去离子水为原料,采用两级亚沸蒸馏方法,提纯出高纯水,其主要金属离子浓度含量均小于0.1ppb.同时讨论了影响产品速率的工艺条件.

关键词： 高纯水 亚沸蒸馏 金属离子检测 去离子水

作者: 方芳 徐志刚

作者单位: 华东理工大学化工学院,200237

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国电子化学品发展研讨会

会议地点: 江苏无锡

会议语种:中文

页码: 156-160

在线出版日期: 2006-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）