直流脉冲磁控溅射方法沉积二氧化钛薄膜的研究

摘要：

本文用直流脉冲磁控溅射方法在聚甲基丙烯酸甲酯(有机玻璃)材料上沉积了二氧化钛薄膜,采用椭圆偏振光测试仪、分光光度计、X射线衍射仪、原子力显微镜对薄膜进行了表征,结果表明,薄膜的沉积功率和氧气比例对薄膜的沉积速率、折射率、光学透过率、反射率具有明显的影响;所沉积的二氧化钛薄膜为多晶结构.

关键词： 二氧化钛薄膜 光学参数 沉积功率 氧气比例 磁控溅射 多晶结构

作者: 纪建超 颜悦 沈玫

作者单位: 北京航空材料研究院,北京,100095;北京航空航天大学,北京,100083 北京航空材料研究院,北京,100095

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国电子化学品发展研讨会

会议地点: 江苏无锡

会议语种:中文

页码: 132-138

在线出版日期: 2006-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）