MOCVD反应器内部气体流动模拟分析

摘要：

以金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.通过应用GAMBIT软件划分复杂模型的基础上,对新颖的反应器的输运过程进行了二维数值模拟的研究,计算了反应器中流场的分布.根据对模拟结果的分析可知:在低于常压和反应器进口距加热器距离较小的工况下,反应器内的输运过程比较稳定,满足制各薄膜所需的层流特征.

关键词： 金属有机化学气相沉积 反应器 气体流动 流场 数值模拟

作者: 陈燕

作者单位: 上海工程技术大学高职学院,200437

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国流体传动与控制学术会议

会议地点: 辽宁大连

会议语种:中文

页码: 645-647

在线出版日期: 2006-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）