28Si同位素应用背景及分离研究现状概述

摘要：

文章对28Si同位素的应用背景进行概述,并介绍分离28Si同位素的几种具体方法和国内外的分离研究现状,认为同位素纯28Si材料将会在未来的高级微电子芯片等领域中获得很好的发展.

关键词： 同位素 电子芯片 材料分离

作者: 李文泊 李大勇 吴建军

作者单位: 核工业理化工程研究院,天津,300180

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届北京核学会应用技术学术交流会

会议地点: 湖北宜昌

会议语种:中文

页码: 200-203

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）