双面抛光机气动伺服加载系统分析

在双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行精确控制,从而保证抛光质量.为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀.同时对气动伺服加载系统进行数学建和模块化分析,最后进行了实验研究.表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面超平滑的硅片.
气动数字伺服阀 气动伺服加载系统 双面抛光机 抛光压力
钱宁 阮健 李伟
浙江工业大学,机械制造及自动化教育部重点实验室,中国,浙江杭州市,310014
国内会议
辽宁大连
中文
502-506
2006-08-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)