含Bi层状钙钛矿型铁电薄膜在金属电极上的非c轴取向生长研究

摘要：

用sol-gel工艺直接在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上分别制备了62﹪a/b轴择优、65﹪(014)/(104)择优、高c轴择优取向生长的Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNdT)铁电薄膜.发现BNdT薄膜的铁电、介电和压电性能强烈依赖于晶粒的择优取向,从而证实BNdT中自发极化矢量Ps靠近a轴.透射电镜观察表明,非c轴取向薄膜中的柱状晶粒从底电极Pt表面一直延伸到薄膜上表面,而c轴择优取向薄膜中的晶粒细小且主要呈等轴状.讨论了含Bi层状钙钛矿型铁电薄膜在金属电极上的择优取向生长机制.

关键词： 薄膜物理学 取向生长 铁电薄膜 层状钙钛矿

作者: 刘晓林 陈晓琴 祁亚军 卢朝靖

作者单位: 湖北大学材料科学与工程学院,武汉,430062

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国内耗与力学谱会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 495-499

在线出版日期: 2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）