侧向外延生长六方相GaN中堆垛层错的同步辐射表征

摘要：

本文采用低温光致发光谱研究了蓝宝石(0001)衬底上MOCVD侧向外延生长的六方相GaN中的堆垛层错,并使用同步辐射XRD方法研究了该堆垛层错以及立方相和六方相GaN的相对取向.

关键词： 金属有机物化学气相沉积 侧向外延 堆垛层错 同步辐射X射线衍射极图 低温光致发光谱

作者: 陈俊 王建峰 张纪才 王辉 黄勇 王玉田 杨辉 贾全杰

作者单位: 中国科学院半导体研究所,北京,100083 中国科学院高能物理研究所,北京,100049

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京同步辐射装置2005年学术年会暨学术委员会

会议地点: 山东青岛

会议语种:中文

页码: 37-39

在线出版日期: 2005-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）