纳米复合超硬薄膜中与界面有关的弛豫现象

摘要：

利用内耗技术研究了TiSiN系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理.当共振频率大约在100Hz时在230～280℃范围内观察到一个弛豫型的内耗峰.计算出激活能为0.7～1.0eV,弛豫时间指数前因子为10-10～10-12秒.对比一系列样品,发现硬度越高内耗峰越低,在硬度高于50GPa的薄膜中没有内耗峰.内耗峰随退火温度升高而不断降低,直至600～750℃退火时消失,并且杨氏模量开始增加,这跟样品退火后硬度增长是一致的.结果表明内耗峰来源于样品中界面的弛豫过程.

关键词： 超硬薄膜 纳米复合材料 TiSiN薄膜 内耗峰 界面 弛豫现象

作者: 方前锋 刘庆 李朝升 李世直 Veprek S.

作者单位: 中国科学院固体物理研究所,材料物理重点实验室,合肥,230031 青岛科技大学,山东 青岛 266042 Institute for Chemistry of Inorganic Materials,Technical University Munich,D-85747,Germany

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国内耗与力学谱会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 309-313

在线出版日期: 2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）