光伏InSb器件钝化层不稳定性分析

摘要：

本文分析了抽真空烘烤过程中,光伏InSb器件电性能不稳定现象.一定条件下H2O可以进、出器件钝化层,并引起界面电荷变化;真空烘烤过程中烘烤温度可以改善含阳极氧化层器件的I-V曲线;真空状态下器件尤其是含阳极氧化层器件受照明荧光灯照射会使器件的I-V曲线变差。

关键词： 光伏InSb器件 钝化层 不稳定性 抽真空烘烤 阳极氧化层器件

作者: 杜红燕 张健

作者单位: 中国电子集团总公司第十一研究所,北京,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国光电技术学术交流会

会议地点: 福建厦门

会议语种:中文

页码: 612-616

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）