介质阻挡放电化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜研究

摘要：

本文首次采用介质阻挡放电化学气相沉积法常温快速制备了TiO2薄膜.扫描电子显微镜、X射线衍射仪,以及亲水性研究表明,得到的TiO2薄膜质量较好、膜基结合紧密,具有一定的亲水性能.600℃退火后出现锐钛矿相,亲水性能有较大增强。

关键词： 介质阻挡放电 化学气相沉积法 二氧化钛薄膜 薄膜质量 锐钛矿相

作者: 张溪文 韩高荣

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室,材料与化工学院,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 393-394

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）