金刚石膜在真空电子器件输出窗中的应用

摘要：

本文综述了金刚石膜的性能和制备方法,着重介绍了国内外常用的封接工艺,讨论了该材料在毫米波器件中的应用前景.

关键词： 金刚石膜 毫米波 真空电子器件 输出窗 封接工艺

作者: 高陇桥

作者单位: 北京真空电子技术研究所,北京,100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006电子陶瓷、陶瓷-金属封接与真空开关管用管壳的技术进步研讨会

会议地点: 湖北孝感

会议语种:中文

页码: 4-5,13

在线出版日期: 2006-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）