粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件性能测试

摘要：

给出了SnO2/10％CeO2(0.4mm×0.6mm×0.4mm)元件的温耗特性曲线,研究了老化的温度和时间,研究了气敏电流Ig与气体浓度C的关系,并给出了一个普遍适用的规律。

关键词： 粉末溅射 平面薄膜型 酒敏元件 酒气测试 气敏电流 传感器

作者: 洪德斌 陈慧凯 孙玉珍 于宗智 马捷

作者单位: 山东大学,山东,济南,250100 济南半导体研究所,山东,济南,250014

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 74-76

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）